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Unikompakt TU Ilmenau

Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien www.tu-ilmenau.de/zmn Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) ist Technologieplattform für die grundlagenorientierte wie auch für die angewandte Forschung im Bereich Mikro- und Nanosysteme. Die Geräte- und Anlageninfrastruktur deckt eine Vielzahl von Beschichtungs- und Strukturierungsverfahren der Mikro- und Nanotechnologie ab, die zur Bearbeitung von Polymeren, Halbleitermaterialien, Gläsern und Keramiken verwendet werden. Eine leistungsstarke Analytik bis in die atomare Größenordnung rundet die wissenschaftliche Ausstattung ab. Für die Arbeiten stehen in zwei Gebäuden des ZMN 800 m² Laborflächen und 1 200 m² Reinraumflächen der Klassen 5, 6 und 7 zur Verfügung. Die moderne technologische Infrastruktur wird nicht nur vom Institut für Mikro- und Nanotechnologien der TU Ilmenau (IMN MacroNano®) genutzt, das ZMN als „DFG-Gerätezentrum“ stellt sie auch externen Nutzern aus Forschung und Industrie zur Verfügung. Alle Angebote des ZMN für die Wirtschaft sind in einem umfangreichen Kompetenzatlas zusammengefasst ( www.tu-ilmenau.de/imn). S. 51, D1 03677 69-3400 macronano@tu-ilmenau.de Feynmanbau Gustav-Kirchhoff-Str. 7 98693 Ilmenau 27 FORSCHUNG


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