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Bericht des Rektors 2014 / 2015 99 HIGHLIGHTS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme Forschergruppe GreenSense abgeschlossen: Mehr Energieeffizienz Im Projekt GreenSense erforschte und entwickelte das IMMS in Kooperation mit dem Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien und dem Fachgebiet Mikromechanische Systeme der TU Ilmenau eine modulare Technologieplattform, mit der hochkomplexe, engmaschige, energieautarke, multimodale Smart-Sensor- Netzwerke effizient aufgebaut und betrieben werden können. Sie haben ein breites Anwendungsspektrum insbesondere in der Überwachung und Regelung industrieller Produktions-, Transport- und Betriebsprozesse, die sie so energieeffizienter und ressourcenschonender machen. DFG-Forschergruppe MUSIK: Universelle MEMS-Designmethodik Das IMMS überführt in enger Zusammenarbeit mit der TU Ilmenau die verstärkenden, steuernden, oszillierenden und schaltenden Eigenschaften von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) in komplexe Hochfrequenz-Schaltungen. Dabei soll ein Gesamtsystem aus dem technologisch neuartigen SiCer-Material entstehen. Das IMMS hat hierfür MEMS-Eigenschaften untersucht und modelliert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln. Ziel sind kompakte, parametrisierte Verhaltensmodelle für eine erweiterte Systemsimulation und -optimierung. Robuster Satellitenempfang trotz Stör- und Täuschsignalen Im dreijährigen Forschungsprojekt KOSERNA entwickelt das IMMS seit 2014 ein kompaktes Satellitenempfangssystem für robuste Navigationsanwendungen. Das IMMS erweitert im Unterauftrag der TU Ilmenau die Frontendschaltung und überträgt die im Vorgängerprojekt KOMPASSION erforschten Konzepte auf ein zweites Frequenzband. Durch diese Weiterentwicklung wird die Robustheit gegenüber Stör- und Täuschsignalen erheblich verbessert und gleichzeitig die Größe der Empfangseinheit weiter reduziert. 3DNeuroN-Projekt abgeschlossen: Bio-Imitation des Gehirns In enger Zusammenarbeit mit dem Institut für Biomedizinische Technik und Informatik und dem Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der TU Ilmenau erforschte das IMMS ein neues dreidimensionales verlustleistungs- und rauscharmes Sensor-Aktor-Elektroden-Array zur Messung und Stimulation neuronaler Aktivitäten von Nervenzellen. Ziel ist es, den Heilungsprozess von geschädigtem Nervenzellgewebe zu unterstützen. Mit einem 3D-Array mit 800 Elektroden werden die Nervenzellen stimuliert und deren Verhalten und Reaktionen dreidimensional aufgezeichnet. Das IMMS entwickelte hierfür die Sensor- und Aktor-Elektronik.


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