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Bericht des Rektors 2014 / 2015 95 HIGHLIGHTS CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik Bedeutender Ausbau der Forschungsinfrastruktur Mit Unterstützung des Landes Thüringen, der Europäischen Union und von Projektpartnern investierte das CiS rund 2,5 Millionen Euro in neue Geräte und Spezialanlagen. Ein Vollfeld-Projektionsbelichtungssystem erlaubt es, neueste industrielle Entwicklungen schnell, zuverlässig und mit höchster Präzision umzusetzen. Mit einer neuen Trockenätzanlage können Durchkontaktierungen und Mikrokraftsensoren künftig noch feiner und genauer erzeugt werden. Ein neuartiges automatisierbares multispektrales Charakterisierungssystem erlaubt eine zerstörungsfreie Analyse von Sensorkomponenten und verbessert Qualität und Prozesssicherheit. Hochtemperaturstabile Druckwandlerkerne für neue Anwendungen Miniaturisierung und Effizienzsteigerung erfordern in der Mikrosystemtechnik neue Einsatzbedingungen. Vor allem in der Prozessmesstechnik werden spezielle Drucksensoren benötigt, die extrem stabil gegenüber inneren und äußeren mechanischen Spannungen und temperaturabhängigen Leckströmen selbst bei Temperaturen von bis zu 300 Grad sind. Eine solch hohe Leistungsfähigkeit konnte nur erzielt werden durch die Kombination einer eigens dafür entwickelten Herstellungstechnologie, einer speziellen Aufbauform der Sensoren und einer geeigneten Messtechnik. CiS-Geschäftsführer zum „Distinguished Professor“ berufen Dr. Thomas Ortlepp übernahm im Februar 2015 die Leitung des neu geschaffenen Lehrstuhls für Energieeffiziente Mikroelektronik und hochempfindliche Sensorik an der Yokohama National University in Japan. Seine wissenschaftliche Karriere starte er mit dem Studium der Mathematik an der TU Ilmenau. Heute ist Prof. Ortlepp Geschäftsführer am CiS Forschungsinstitut und treibt die internationale Vernetzung des Forschungsinstitutes in Wissenschaft und Wirtschaft weiter voran. Nachwuchsforschungspreis für Institutsdoktorand Dr. Gerrit Heinrich vom CiS Forschungsinstitut erhielt für seine Dissertation zum Thema „Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption“ den Nachwuchsforscherpreis 2014, gestiftet von der Deutschen Kreditbank und dem Verband innovativer Unternehmen. Die Laudatio würdigte seine Dissertation, entstanden in Zusammenarbeit mit der TU Ilmenau, als herausragenden Beitrag für den Transfer der theoretischen Erkenntnisse in praxisrelevante technologische Prozesse.


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