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Bericht des Rektors 2014 / 2015 29 HIGHLIGHTS Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik Präziseste Nanopositionier- und -messmaschine der Welt made in Ilmenau Die TU Ilmenau erhält von der Deutschen Forschungsgemeinschaft über vier Millionen Euro für die Entwicklung einer hochpräzisen Nanopositionier- und -messmaschine. Die NPMM-200 ist für das Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart bestimmt und erreicht in einem Messbereich von 200 x 200 x 25mm Subnanometerauflösung und Nanometerpräzision. Das Positioniergerät arbeitet sowohl unter atmosphärischen Bedingungen als auch, um noch bessere Messwerte zur erzielen, unter Vakuum. Durch die extrem hohe Wiederhol- und Positioniergenauigkeit der NPMM-200 können die Stuttgarter Wissenschaftler künftig Sensoren für extrem hochauflösende Lithographie entwickeln und ihre Forschungsarbeiten zu synthetischen Quantensystemen, 3D-Messungen mit makro, mikro- und nanoskopischen Sensoren und zur multimodalen Sensorfusion vorantreiben. Neues Labor zur hochpräzisen Temperaturmessung eröffnet Im September 2014 eröffnete das Institut für Prozessmess- und Sensortechnik ein neues Temperatur-Kalibrierlabor. Mit Fördermitteln der Deutschen Forschungsgemeinschaft und des Freistaates Thüringen wurde das Labor mit modernen wissenschaftlich technischen Geräten für die hochpräzise statische und dynamische Temperaturmessung ausgestattet. Ilmenauer Nanopositioniertechnik auf internationalen Messen Das Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen präsentierte auf der Hannover Messe 2014 und auf der LASER World of Photonics 2015, dem weltweit führenden Forum für Sensorik, Mess- und Prüftechnik in München, die gesamte Forschungs- und Entwicklungspalette zur nanometergenauen Positionierung, Messung und Manipulation dreidimensionaler Objekte.


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