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28 Die Forschungscluster der TU Ilmenau | Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik FORSCHUNGSCLUSTER Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik Das Forschungscluster Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik steht für ambitionierte Forschung mit höchsten Anforderungen an Genauigkeit. Ausweis dafür sind zahlreiche wissenschaftliche Arbeiten zu Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, der Lorentzkraft-Werkstoffprüfung und der Kraftmess- und Wägetechnik, die internationale Beachtung fanden oder gar weltweit unerreicht sind. Die Arbeiten des Forschungsclusters Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik ermöglichen die präziseste Bearbeitung vielfältiger Anwendungen in den Zukunftsfeldern Halbleitertechnik, den Mikro- und Nanotechnologien und der Präzisionsoptik. Wissenschaftliche Schwerpunkte des Forschungsclusters sind neuartige Strömungsmess und Materialprüfverfahren, ultrapräzise Kraftmess- und Wägetechnik, industrielle Bildverarbeitung und Feinwerktechnik, hochgenaue Temperaturmesstechnik und neue Verfahren der Laserbearbeitung. An den zahlreichen Forschungsprojekten arbeiten 21 Fachgebiete der TU Ilmenau interdisziplinär zusammen. Ein Schwerpunkt des Forschungsclusters Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik ist die Nanopositionier- und Nanomesstechnik. Das Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, hervorgegangen aus dem Sonderforschungsbereich 622 der Deutschen Forschungsgemeinschaft, das zwischen 2002 und 2013 den Weltmaßstab der Forschung mitbestimmte, dringt in immer neue Genauigkeitsbereiche vor. Die hier entwickelten Maschinen erreichen in immer größeren Messbereichen eine Auflösung von nur 20 Pikometern, das sind 20 Milliardstel Millimeter – kein Gerät weltweit ist genauer. Die überragenden Arbeiten, die dem SFB 622 zahlreiche technologische Weltrekorde einbrachten, werden im Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit dem Koordinator Prof. Eberhard Manske weitergeführt, dessen Professur Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik integrierender Bestandteil des Forschungsclusters ist. Das Kompetenzzentrum entwickelt im Rahmen einer DFG-Großgeräteinitiative für die Universität Stuttgart eine Nanopositionier- und Nanomessmaschine mit internationalen Spitzenparametern an Präzision und Leistung: die NPMM-200. Wissenschaftler des Fachgebiets Technische Mechanik untersuchen die für die Präzisionstechnik wichtigen Probleme reibungsbehafteter Bewegungen. Das Projekt „Bewegung mechanischer Systeme auf festen, widerstandserzeugenden Oberflächen“ wird durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft gefördert. „Unser Messvolumen von 200  x 200 x  25 Millimeter bei einer Auflösung von 20 Milliardstel Millimeter ist internationale Spitze.“


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