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Bericht des Rektors 2014 / 2015 21 Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) ist die Technologieplattform für 38 Fachgebiete der TU Ilmenau, deren wissenschaftliche Kompetenzen im Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®) gebündelt sind. Strategisches Forschungsfeld des IMN MacroNano® ist die Mikro-Nano-Integration, also die Herstellung von Nanomaterialien, Nanostrukturen und Nanobauelementen und deren Integration in komplexe Mikrosysteme. Die neugeschaffenen Mikro-Nano-Systeme können dadurch vollkommen neue Funktionen ausüben, gleichzeitig erhalten die hochsensiblen Nanomaterialien Stabilität und ihre Eigenschaften können optimal genutzt werden. Für die zukunftsorientierte Forschung im IMN MacroNano® steht im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien den Wissenschaftlern der Universität ebenso wie externen Nutzern eine hoch komplexe technologische Infrastruktur zur Verfügung. Das ZMN verfügt über eine Gesamtlaborfläche von 2 000 Quadratmetern, unter anderem für Speziallabore wie einem biologischen Labor der Sicherheitsstufe 1 und einem Labor für Nanomess- und Positioniertechnik. 1 200 Quadratmeter davon stehen für Reinraumflächen der Klassen ISO 5, 6 und 7 im Feynman- und Meitnerbau zur Verfügung. In den Jahren 2014 und 2015 wurden im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien 54 Projekte durchgeführt, darunter allein sechs EU-Projekte. „Wir führen ein europäisches 18-Millionen-Euro- Projekt zur Entwicklung der elektronischen Chips für Computer und Handys von übermorgen an.“ In dem von der TU Ilmenau angeführten europäischen Projekt „Single Nanometer Manufacturing for beyond CMOS devices (SNM)“ unter der Leitung von Prof. Ivo Rangelow werden die elektronischen Chips für Computer, Handys und Tablets von übermorgen entwickelt. Sie werden kaum größer als der Millionste Teil eines Millimeters sein und nähern sich damit der heutigen theoretischen Untergrenze solcher Systeme an, dem Atom. Um dem Anspruch immer kleiner werdender nanoelektronischer und nanomechanischer Systeme gerecht zu werden, bündelt das 18-Millionen-Euro-Projekt die Expertise von 15 Partnern aus acht europäischen Ländern. Im Forschungsprojekt SACCA suchen Wissenschaftler unter der Leitung des Ilmenauer Professors Hartmut Witte nach technologischen Lösungen für den automatisierten Umgang mit biologischen Zellkulturen. Derzeit werden Zellkulturen noch immer in Handarbeit bearbeitet. Im Projekt „System for Automated Cell Cultivation and Analysis“, das durch die Carl-Zeiss-Stiftung mit einer Million Euro finanziert wird, arbeiten seit drei Jahren vier Fachgebiete des IMN MacroNano® und das Institut für Bioprozess- und Analysenmesstechnik iba Heiligenstadt mit Methoden der Mechatronik und der Mikrosystemtechnik an einer automatisierten Labormaschine für die Kultivierung und die Analyse von Zellkulturen. Im Forschungsprojekt MUSIK „Multiphysikalische Synthese und Integration komplexer Hochfrequenz-Schaltungen“ erforschen vier Fachgebiete unter der Leitung von Prof. Matthias Hein ein innovatives Fertigungsverfahren, das elektronische Produkte zum Beispiel in der Mobilkommunikation vielseitiger und energiesparender macht. Mit mikro-elektromechanischen Systemen, sogenannten MEMS, führen sie herkömmliche Elektronik aus Transistoren zusammen. Die Deutsche Forschungsgemeinschaft, die das MUSIK-Projekt fördert, hat soeben die Weiterführung bis Ende 2018 bewilligt.


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