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nomessmaschinen, als „Leuchtturm mit unerreichter Präzision“ und EU-Gutachter nannten die erzielten Ergebnisse des 22-Millionen-Euro-Projektes „exzellent“. Damit werde die Technische Universität Ilmenau ihrem Ruf als herausragender Standort für Nanomesstechnik gerecht. Weltweit führend sind auch unsere Forscher in der Kraftmess- und Wägetechnik im Ultrapräzisionsbereich und die interdisziplinäre Zusammenarbeit auf dem Gebiet neuartiger Strömungsmess- und Materialprüfverfahren. Im Forschungscluster Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik wurde beispielsweise die derzeit genaueste Komparatorwaage der Welt entwickelt. Oder eine weltweit einzigartige Mikroelektronikschaltung für Spezialkameras, mit der selbst extrem schwache Signale einzelner Lichtteilchen, der Photonen, noch ausgewertet werden können. Oder eine Laser-Pinzette, die Mikropartikel greift, ohne sie zu berühren. Oder … Auf der ganzen Welt gibt es kein präziseres Gerät als unsere Nanomessmaschine. All over the world, there is no instrument which is more precise than our nanomeasuring machine. Mit der Entwicklung einer Nanomessmaschine, die fünf Mal so exakt arbeitet wie die besten derzeit in der Industrie verwendeten Ultrapräzisionsgeräte, drangen Wissenschaftler der TU Ilmenau in bislang unerreichte Dimensionen in der Präzisionsmesstechnik vor. Ihre einzigartigen Forschungsarbeiten ermöglichen es, Strukturen mit Maßen von nur 80 Pikometern, das sind 80 Milliardstel Millimeter, im dreidimensionalen Raum zu messen. Im Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen arbeiten über 40 Wissenschaftler an der nanometergenauen Positionierung und Messung dreidimensionaler Objekte, beispielsweise mechanischer und optischer Präzisionsteile. In den Zukunftsfeldern Mikromechanik, Präzisionsoptik und Halbleitertechnik bestimmen sie den Weltstand der Forschung. Das Gutachtergremium der Deutschen Forschungsgemeinschaft bezeichnete den Sonderforschungsbereich 622, Vorläufer des Kompetenzzentrums Nanopositionier- und Na- 23 FORSCHUNG RESEARCH Research Alliance Precision Engineering and Precision Measurement Technology By developing a nanomeasuring machine that is five times more precise than the best ultra-precision instruments presently used in industry, our scientists were able to advance towards completely new levels of accuracy in precision measurement technology. Their unique research studies make it possible to measure structures only 80 picometers large, in the three-dimensional space. More than 40 scientists work on the positioning and measuring of three-dimensional objects with nanometer precision. Such objects are, for example, mechanical and optical precision components. In the future fields micro-mechatronics, precision optics and semiconductor technology they determine the highest world level in research. The committee of experts of the Deutsche Forschungsgemeinschaft (German Research Foundation) characterized the 22-million euro project as a “lighthouse and outstanding project of unprecedented precision“. A worldwide leading position is also held in force measuring technique and weighing technology in the field of ultra precision as well as in the field of innovative electric-current measuring methods and material testing procedures. In this Research Alliance, the presently most precise mass comparator was developed. Or, unique microelectronic circuitry for special-purpose cameras that can evaluate even extremely weak signals of photons. Or, laser tweezers that grip microparticles without touching them. Or, …


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